・可用于空气、N2、Ar、CO2
・无润滑脂规格。
・与流量调整阀一体化。
・体积小、重量轻、省空间。

・干燥空气、N2
・无润滑脂规格。
・与流量调整阀一体化。
・体积小、省空间。

・干燥空气, N2。
・3色显示 2画面。
・流量范围扩大：1个开关可检测大范围的流量。
・体积小、省空间。

・适合流体：空气, N2。
・流量范围：最大12,000L/min。
・范围能力 100：1。
　1台流量开关可计测大范围的流量。
・耐冷凝水、耐异物能力提高。
・压力损失降低75%（20kPa→5kPa）。
・贯通构造。

・用于微小工件的吸附确认。
・重复精度±2％F.S.。
・响应速度5ms以下，耐压500kPa。
・无润滑脂、符合RoHS。
・电压显示器　一台可对应全范围。
・相关元件：真空过滤器 ZFC050系列。

・有一体型和显示器分离型。
・开关输出、累积脉冲输出、模拟输出。
・可切换积累流量、瞬时流量。
・IP65。
・4通道流量显示器。
　可将4个不同流量范围的开关连接于1个控制器。

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・3色2画面显示的流量传感器。
・与温度传感器一体化。
・40％小型化（与本公司PF2W相比）
・符合IP65、无润滑脂规格。
・使用流体温度0～90℃
・聚氯乙烯制配管型：用于脱离子水（纯水）、化学液。

・适应流体：脱离子水（纯水）、化学液等。
・3色2画面显示的流量传感器。
・符合IP65、无润滑脂规格。
・使用流体温度0～70℃。
・PVC管子外径：25A、30A。

・适用流体：水、水溶性冷却液。
・紧凑・轻量。
　56mm×40mm×90mm（H×W×D）
　质量：340g（LFE1□3的场合）。
・可检测逆流。
・规格流体温度：0〜85℃。
・消耗电流：45mA。

・有一体型、显示器分离型。
・开关输出、累积脉冲输出、模拟输出。
・可切换累积流量、瞬时流量。
・可对应90℃高温。
・IP65
・4通道流量显示器。
　可将四种不同流量范围的传感器连接到1台控制器上。

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・主体传感器：NewPFA,管：SuperPFA
・低发尘、优异的置换特性。
・4通道流量显示器。
　可将4个不同流量范围的开关连接于1个控制器。

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